发明名称 VORRICHTUNG ZUR SCHEIBENBEHANDLUNG
摘要
申请公布号 DE69928126(D1) 申请公布日期 2005.12.08
申请号 DE1999628126 申请日期 1999.12.02
申请人 SILICON VALLEY GROUP, INC. 发明人 PARK, HEON
分类号 H01L21/677;B65G49/07;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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