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发明名称 EQUIPMENT TO FORM THIN FILM AND TO TREAT SUBSTRATE SURFACE USING MICROWAVE
摘要
申请公布号 KR20050115954(A) 申请公布日期 2005.12.08
申请号 KR20040040697 申请日期 2004.06.04
申请人 PARK, SANG WON;PARK, JANG SICK;JEONG, WON SICK 发明人 PARK, SANG WON;PARK, JANG SICK;JEONG, WON SICK;AHN, WON SOOL;KIM, SUNG KUK;LEE, YONG GIL;KIM, TAE WOO;JEONG, WON SANG
分类号 H01L21/363;(IPC1-7):H01L21/363 主分类号 H01L21/363
代理机构 代理人
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