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发明名称 METHOD OF FORMING A DAMASCENE PATTERN
摘要
申请公布号 KR20050115508(A) 申请公布日期 2005.12.08
申请号 KR20040040501 申请日期 2004.06.03
申请人 MAGNACHIP SEMICONDUCTOR, LTD. 发明人 RYU, SANG WOOK
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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