| 发明名称 | 预测旋转机器寿命的装置及其预测和确定维修时间的方法 | ||
| 摘要 | 一种用于预测旋转机器的使用寿命预期值的装置包括：负载方案输入模块，其用于获得旋转机器的负载条件；特征输入模块，其用于获得所述旋转机器的特征数据；以及使用寿命预期值预测模块，其根据所述负载条件和所述特征数据计算所述旋转机器的使用寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN1230869C | 申请公布日期 | 2005.12.07 |
| 申请号 | CN02107835.1 | 申请日期 | 2002.03.22 |
| 申请人 | 株式会社东芝 | 发明人 | 牛久幸広;有门经敏;佐俣秀一;中尾隆;见方裕一 |
| 分类号 | H01L21/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 付建军 |
| 主权项 | 1.一种用于预测LPCVD系统中的旋转机器的使用寿命预期值的装置，包括：负载方案输入模块，其用于获得旋转机器的负载条件；特征输入模块，其用于获得所述旋转机器的特征数据；以及使用寿命预期值预测模块，其根据所述负载条件和所述特征数据计算所述旋转机器的使用寿命。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||