发明名称 A METHOD OF PRODUCING A SUBSTRATE HAVING A PATTERNED ORGANOSILANE LAYER AND A METHOD OF USING THE SUBSTRATE PRODUCED BY THE METHOD
摘要
申请公布号 KR20050114889(A) 申请公布日期 2005.12.07
申请号 KR20040039983 申请日期 2004.06.02
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 HWANG, KYU YOUN;NAMGOONG, JI NA;SHIM, JEO YOUNG
分类号 H01L27/12;B01J19/00;G01N33/543;H01L21/31;H01L21/469;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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