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发明名称
摘要
申请公布号
JP3724763(B2)
申请公布日期
2005.12.07
申请号
JP19970222508
申请日期
1997.08.19
申请人
发明人
分类号
F16L19/03;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
F16L19/03
代理机构
代理人
主权项
地址
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