基板的输送装置以及输送方法

摘要

本发明提供一种在使基板倾斜后在处理腔室进行处理时，可有效地进行基板对处理腔室的移交的基板输送装置，具有：将以水平状态送来的基板倾斜到设定的倾斜角度后，移交到处理腔室(6)的搬入移交部(3)；接受在搬入移交部倾斜到设定角度的所述基板后，以该倾斜角度在所述处理部内输送的倾斜输送部(4)；和从倾斜输送部接受以设定的倾斜角度在所述处理部腔室内输送的处理过的基板后，恢复到水平状态的搬出移交部(5)，搬入移交部和搬出移交部的至少一方，由在沿基板的输送方向依次并列设置并可分别设定基板的倾斜角度而且按照长度尺寸以比基板的沿输送方向的长度尺寸短而设定的第一、第二搬入或者搬出输送机(31－34)组成。

主权项

1.一种基板的输送装置，输送在处理部处理的基板，其特征在于，具有：将以水平状态送来的基板倾斜到设定的倾斜角度而移交到所述处理部的搬入移交部；接受被在该搬入移交部倾斜到设定角度的所述基板后，以该倾斜角度在所述处理部内输送的倾斜输送部；和从所述倾斜输送部接受以设定的倾斜角度在所述处理部内输送并被处理过的基板，恢复到水平状态的搬出移交部，所述搬入移交部和搬出移交部的至少一方，具有沿基板的输送方向顺序并列设置并由可以分别设定基板的倾斜角度的多个输送机构成的角度变换单元。