发明名称 DEPOSITION DEVICE AND METHOD FOR NIR TRANSMITTING HIGH HEAT-RESISTANT MULTI-LAYERED THIN FILM
摘要
申请公布号 KR100533853(B1) 申请公布日期 2005.12.06
申请号 KR20030040504 申请日期 2003.06.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H04N5/253;(IPC1-7):H04N5/253 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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