垂直型热处理装置及移载机构之自动示范教授方法

摘要

本发明之垂直型热处理装置1之移载机构21包含有可以升降及旋转之基台25与可以进退地设置于该基台上且支撑晶圆W之多数片基板支撑具20。在基台25设置着朝向基板支撑具20之进退方向发射光线，且藉其反射光检测目标构件之第1感测器45，而且在基板支撑具20之2个前端部设置着藉遮蔽在两前端部间行进之光线检测目标构件之第2感测器40。在特定之位置设有位置检测用之突起49及50之目标构件44若设置于晶圆板8之特定位置，则基台25升降及旋转，另外基板支撑具20进退。此时依据所得之第1感测器45及第2感测器之检测信号与和基台25及基板支撑具20之动作有关联之各驱动系统之编码值，自动检测目标构件之位置，即晶圆之目标移载位置。