高真空溅镀制程中之防止油污染之抽气设备

摘要

一种高真空溅镀制程中之防止油污染之抽气设备，此设备是由真空抽气机与集油器所构成，其中集油器装设于真空抽气机之排气管路中，此种集油器是由集油器本体与复数个档板所构成。集油器本体具有进气口、出气口与油排泄口。复数个档板是以交叉配置之方式设置于过滤器本体中。利用档板过滤及收集气体中的油分，避免油分污染管路与无尘室。

主权项

1.一种高真空溅镀制程中之防止油污染之抽气设备(100),该设备包括:一真空抽气机(102),该真空抽气机具有一抽气口(106)与一出气口(108);一集油器(104),该集油器设置于该真空抽气机(102)之该出气口(108),用以过滤与收集气体中之油分,其中该集油器(104)包括:一集油器本体(110),该集油器本体(110)具有一进气口(112)、一出气口(114)与一油排泄口(116),该进气口(112)设置于该集油器本体(110)之一第一末端,该出气口(114)设置于该集油器本体(110)之一第二末端,该油排泄口(116)设置于该集油器本体(110)之侧壁靠近该出气口(114)处;以及复数个档板(118a至118j),该些档板(118a至118j)系以交错排列之方式设置于该集油器本体(110)内,且每一该些档板(118a至118j)之面积皆小于该集油器本体(110)之剖面面积。2.如申请专利范围第1项所述之高真空溅镀制程中之防止油污染之抽气设备,其中该集油器本体之形状为筒状。图式简单说明:第1图系绘示本发明之高真空溅镀制程中之防止油污染之抽气设备的剖面示意图。