| 主权项 |
1.一种缺陷侦测器,其系用于在一检查物体上侦测 缺陷者,包含 一影像显示系统; 一固持元件,其固持该检查物体; 一影像取得元件,其将由该固持元件固持之该检查 物体成像,以藉由将具有一缺陷之该检查物体之一 缺陷区成像而取得检查影像资料; 一第一显示控制元件,其将由该影像取得元件所取 得之该检查影像资料以一第一显示倍率显示;及 一第二显示控制元件,其响应于该第一显示倍率而 将欲比较于该缺陷区之主影像资料以一第二显示 倍率显示。 2.如请求项1之缺陷侦测器,尚包含: 一尺寸取得元件,其取得资讯以指出由该固持元件 固持之该检查物体之缺陷区尺寸,及 一显示倍率运算元件,其系在由该尺寸取得元件取 得之指出该缺陷区尺寸之资讯基础上,依据一指定 之演算法而运算该第一显示倍率。 3.如请求项1之缺陷侦测器,尚包含一自操作者接收 输入资讯之运算部,其中 该第二显示控制元件系在每次该第一显示倍率在 该输入资讯之基础上设定时即响应于该第一显示 倍率而运算该第二显示倍率,且将该主影像资料以 该第二显示倍率显示于该影像显示系统上。 4.如请求项1之缺陷侦测器,尚包含一影像倍率决定 元件,其系响应于该第一显示倍率而依据一指定之 演算法决定该影像取得元件之一成像倍率,以将该 检查物体成像。 5.如请求项1之缺陷侦测器,尚包含: 一位置取得元件,其取得资讯以指出由该固持元件 固持之该检查物体之缺陷区位置,及 一定位元件,其系响应于由该位置取得元件取得之 指出该缺陷区位置之该资讯,决定由该固持元件固 持之该检查物体之相对位置。 6.如请求项1之缺陷侦测器,其中 该主影像资料表示一数位式位元映像之影像,及 该第二显示倍率系一将该数位式位元映像放大整 数倍之倍率値。 7.如请求项1之缺陷侦测器,其中 一单一显示器,系包括在该影像显示系统内,其分 别利用该第一显示控制元件及该第二显示控制元 件以同时显示该检查影像资料及该主影像资料。 8.如请求项1之缺陷侦测器,尚包含一切换元件,其 令包括在该影像显示系统内之该单一显示器利用 该第一显示控制元件及该第二显示控制元件以切 换方式显示该检查影像资料及该主影像资料。 9.如请求项1之缺陷侦测器,其中 该影像显示系统包含: 一第一显示器,系在该第一显示控制元件之控制下 显示该检查影像资料,及 一第二显示器,系在该第二显示控制元件之控制下 显示该主影像资料。 10.一种缺陷侦测方法,其系在一检查物体上侦测一 缺陷者,包含: 一固持步骤,用于固持该检查物体; 一影像取得步骤,其将由在该固持步骤中固持之该 检查物体成像,且藉由将具有一缺陷之该检查物体 之一缺陷区成像而取得检查影像资料; 一第一显示步骤,其将在该影像取得步骤所取得之 该检查影像资料以一第一显示倍率显示;及 一第二显示步骤,其响应于该第一显示倍率而将欲 比较于该缺陷区之主影像资料以一第二显示倍率 显示。 11.如请求项10之缺陷侦测方法,尚包含: 一尺寸取得步骤,其取得资讯以指出在该固持步骤 中固持之该检查物体之缺陷区尺寸,及 一显示倍率运算步骤,其系在该尺寸取得步骤中取 得之指出该缺陷区尺寸之资讯基础上,依据一指定 之演算法而运算该第一显示倍率。 12.如请求项10之缺陷侦测方法,尚包含一自操作者 接收输入资讯之运算步骤,其中 每次将该第一显示倍率在该输入资讯之基础上设 定时即实施该第二显示步骤。 13.如请求项10之缺陷侦测方法,尚包含一影像倍率 决定步骤,其系响应于该第一显示倍率而依据一指 定之演算法决定一成像倍率,以将该检查物体成像 。 14.如请求项10之缺陷侦测方法,尚包含: 一位置取得步骤,其取得资讯以指出在该固持步骤 中固持之该检查物体之缺陷区位置,及 一定位步骤,其系响应于在该位置取得步骤中取得 之指出该缺陷区位置之该资讯,决定由该固持步骤 中固持之该检查物体之相对位置。 15.如请求项10之缺陷侦测方法,其中 该主影像资料表示一数位式位元映像之影像,及 该第二显示倍率系一将该数位式位元映像放大整 数倍之倍率値。 图式简单说明: 图1说明本发明第一较佳实施例之一包括一缺陷侦 测器之缺陷侦测系统之结构; 图2系方块图,揭示一检查装置之结构; 图3系第一实施例缺陷侦测器之前视图; 图4系缺陷侦测器之侧视图; 图5系方块图,揭示缺陷侦测器之结构; 图6系方块图,其伴随着信号流而揭示第一较佳实 施例缺陷侦测器之一控制部之功能性结构; 图7及8系流程图,揭示第一较佳实施例缺陷侦测器 之操作情形; 图9及10说明检查影像资料之举例说明显示; 图11及12说明第一较佳实施例在缺陷侦测器之侦测 操作期间所显示之举例说明影像; 图13说明参考于图11之检查影像资料之一显示倍率 之举例说明变化; 图14系方块图,揭示第二较佳实施例缺陷侦测器之 一控制部之功能性结构,且伴随着资料流程; 图15及16系流程图,揭示第二较佳实施例缺陷侦测 器之操作; 图17说明在第二较佳实施例缺陷侦测器内之检查 影像资料之举例说明显示; 图18说明在第二较佳实施例缺陷侦测器内之主影 像资料之举例说明显示; 图19系本发明第三较佳实施例缺陷侦测器之前视 图; 图20系方块图,揭示第三较佳实施例缺陷侦测器之 一控制部之功能性结构,且伴随着资料流程; 图21说明一习知缺陷侦测器内之一主影像与一检 查影像之举例说明显示;及 图22说明如图21所示一习知缺陷侦测器内用于检查 影像之显示倍率之举例说明变化。 |
