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经营范围
发明名称
Verdampfer
摘要
申请公布号
DE60106675(T2)
申请公布日期
2005.12.01
申请号
DE20016006675T
申请日期
2001.05.29
申请人
SHIPLEY CO., L.L.C.
发明人
TIMMONS, MICHAEL L.;COLBY, RICHARD J.;STENNICK, ROBERT
分类号
B01J4/00;B01J7/02;C23C16/448;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/448;B01D1/00
主分类号
B01J4/00
代理机构
代理人
主权项
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