POLIERVORRICHTUNG UND POLIERVERFAHREN MIT POLIERDRUCKSTEUERUNG ALS FUNKTION DER ÜBERLAPPENDEN FLÄCHE ZWISCHEN DEM POLIERKOPF UND DER HALBLEITERSCHEIBE,申请号DE20016014428-传众专利搜索

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发明名称	POLIERVORRICHTUNG UND POLIERVERFAHREN MIT POLIERDRUCKSTEUERUNG ALS FUNKTION DER ÜBERLAPPENDEN FLÄCHE ZWISCHEN DEM POLIERKOPF UND DER HALBLEITERSCHEIBE
摘要
申请公布号	DE60114428(D1)	申请公布日期	2005.12.01
申请号	DE20016014428	申请日期	2001.08.22
申请人	LAM RESEARCH CORP., FREMONT	发明人	SALDANA, A.;WILLIAMS, VINCENT
分类号	B24B41/04;B24B41/06;B24B49/16;B24B53/007;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B24B37/00	主分类号	B24B41/04
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