| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG GEOMETRISCH OPTISCHER ABBILDUNGSFEHLER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE50011470(D1) |
申请公布日期 |
2005.12.01 |
| 申请号 |
DE20005011470 |
申请日期 |
2000.12.20 |
| 申请人 |
CEOS CORRECTED ELECTRON OPTICAL SYSTEMS GMBH;JEOL LTD., AKISHIMA |
发明人 |
ZACH, JOACHIM |
| 分类号 |
G01Q30/02;H01J37/153;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/153 |
主分类号 |
G01Q30/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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