| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung von Chalkogenidschichten durch chemische Umsetzung von Schichten aus Metallen oder Metallverbindungen im niederenergetischen Chalkogen-Ionenstrahl |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE19902908(B4) |
申请公布日期 |
2005.12.01 |
| 申请号 |
DE1999102908 |
申请日期 |
1999.01.26 |
| 申请人 |
SOLARION GMBH |
发明人 |
LIPPOLD, GERD;OTTE, KARSTEN;SCHINDLER, AXEL |
| 分类号 |
C23C14/14;C23C14/48;C23C14/58;H01L21/363;H01L31/032;(IPC1-7):H01L31/026;B01J19/08;H01L21/033;H01L31/18 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
