抗腐蚀的处理室部件

摘要

一种衬底处理室部件，其显示出在激励气体中腐蚀降低。所述部件具有由氧化铝组成的陶瓷结构，且具有暴露给处理室中激励气体的表面。由激励气体造成的所述表面的腐蚀被所述陶瓷结构的抗腐蚀特性显著地降低，抗腐蚀特性源于所述陶瓷结构中晶粒的总面积G_SA与晶界区域的总面积GB_SA的比值是从约0.25到约2.5。而且，所述陶瓷结构中至少约80％的晶粒的尺寸范围是从约1微米到约20微米。所述陶瓷结构按重量纯度至少约为99.8％，这进一步减少所述表面的腐蚀。

主权项

1.一种衬底处理室部件，在激励气体中腐蚀降低，所述部件包括：一种陶瓷结构，其由氧化铝组成，且具有暴露给所述室中的所述激励气体的表面，所述陶瓷结构包括：(a)晶粒和晶界区域，使晶粒的总面积GSA与晶界区域的总面积GBSA的比值为从约0.25到约2.5；(b)至少约80％的晶粒具有从约1微米到约20微米的晶粒尺寸；和(c)按重量纯度至少约为99.8％，其中所述表面由所述激励气体造成的腐蚀显著降低。