发明名称 METHOD FOR FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100533978(B1) 申请公布日期 2005.11.30
申请号 KR20040050189 申请日期 2004.06.30
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 ROH, JAI SUN
分类号 H01L21/8242;H01L21/02;H01L21/3105;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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