| 发明名称 | 电气检测设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于被测件电检测的电气检测设备，尤其是用于晶片检测的电气检测，它包括一个与被测件对应的触头和一个电联接的连接装置以及一个在该连接装置背向触头的一侧面上布置的支撑装置，所述的触头具有构成触针布置的销状接触元件，所述的连接装置设有接触面，其与接触元件上背朝布置有被测件的测试平面的一端相接触，本发明在支撑装置和连接装置之间布置有拉和/或压机构以调整该接触面布置的平面度或该平面度的一个预期偏差。 | ||
| 申请公布号 | CN1702462A | 申请公布日期 | 2005.11.30 |
| 申请号 | CN200510075498.9 | 申请日期 | 2005.05.26 |
| 申请人 | 精炼金属股份有限公司 | 发明人 | 贡特尔·伯姆 |
| 分类号 | G01R1/06;G01R31/26;H01L21/66 | 主分类号 | G01R1/06 |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 邓琪 |
| 主权项 | 1.一种用于被测件的电气检测设备，尤其是用于晶片检测，它包括一个与被测件对应的触头和一个电联接的连接装置以及一个在该连接装置背向触头的一侧面上布置的支撑装置，所述的触头具有构成触针布置的销状接触元件，所述的连接装置设有接触面，其与接触元件上背朝布置有被测件的测试平面的一端相接触，其特征在于：在支撑装置(6)和连接装置(5)之间布置有拉和/或压机构(14)以调整接触面(10)布置的平面度或该平面度的一个预期偏差。 | ||
| 地址 | 德国海伦堡 | ||