| 发明名称 | 表面处理系统及其方法 | ||
| 摘要 | 一种表面处理系统，包括：用于在表面处理物体(900)的表面上形成沉积层的沉积室(100)；用于通过将一表面处理物体(900)安装于其上而携带该表面处理物体的载体(910)；用于通过将电能施加到沉积室(100)中的物体上形成沉积层的供电单元；在其中，供电单元包括被安装在沉积室(100)内并且与一个外部电源(210)相连接的固定供电单元(220)；以及被安装在载体(910)上的可移动的供电单元(230)，可移动的供电单元(230)用于当其上安装有表面处理物体的载体进入沉积室时与固定供电单元可移动地电连接并且借此通过与其接触将电能施加到被安装在载体上的表面处理物体上。 | ||
| 申请公布号 | CN1229516C | 申请公布日期 | 2005.11.30 |
| 申请号 | CN02816130.0 | 申请日期 | 2002.12.28 |
| 申请人 | LG电子株式会社 | 发明人 | 曹川寿;尹东植;李铉旭;河三喆;田贤佑 |
| 分类号 | C23C16/00 | 主分类号 | C23C16/00 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 马高平;杨梧 |
| 主权项 | 1.一种表面处理系统，包括：一沉积室；一个或多个载体，用于通过将一表面处理物体安装于其上而携带所述的表面处理物体；一供电单元，用于通过将电能加到所述的沉积室中的所述的物体上利用一沉积反应在所述的表面处理物体的表面上形成一沉积层；其中，所述的供电单元包括一被安装在所述的沉积室内并且与一外部电源相连接的固定供电单元；以及一被安装在所述的载体上的可移动的供电单元，所述的可移动的供电单元用于当其上安装有所述的表面处理物体的所述的载体进入所述的沉积室时与所述的固定供电单元可移动地电连接并且借此通过与其接触将电能施加到被安装在所述的载体上的表面处理物体上。 | ||
| 地址 | 韩国汉城市 | ||