摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Verdampfungseinrichtung zum Verdampfen von Beschichtungsmaterial, die als Teil einer Beschichtungseinrichtung in einer Vakuumkammer enthalten ist, wobei das Beschichtungsmaterial zum Verdampfen in einem befüllbaren Tiegel angeordnet ist. Die Lösung der erfindungsgemäßen Aufgabenstellung, eine Verdampfungseinrichtung bzw. ein Verfahren zum Verdampfen von Beschichtungsmaterial zur kontinuierlichen thermischen Vakuumbeschichtung bereitzustellen, wodurch die Standzeiten verkürzt und die Reinigungs- und Wartungsintervalle verlängert werden, wird dadurch erreicht, dass die Verdampfungseinrichtung eine Verdampfungskammer aufweist, die über ein Vakuumventil mit einer evakuierbaren Ladekammer verbunden ist, wobei in der Verdampfungskammer ein Verdampfer angeordnet ist, der den mit Beschichtungsmaterial befüllbaren Tiegel enthält und der dampfaustrittsseitig, also der der Vakuumkammer zugewandten Seite, über ein erstes Dampfsperr-Ventil mit der Verdampfungskammer verbunden ist.
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