| 发明名称 |
Verfahren zur interferometrischen Bestimmmung optischer Ebenenabstände mit Subnanometer-Genauigkeit |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10328412(B4) |
申请公布日期 |
2005.11.17 |
| 申请号 |
DE20031028412 |
申请日期 |
2003.06.19 |
| 申请人 |
MEDIZINISCHES LASERZENTRUM LUEBECK GMBH |
发明人 |
KOCH, PETER;KOCH, EDMUND |
| 分类号 |
G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06;G01B9/02;G01B11/30;G01N21/45 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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