FET-basierter Gassensor

摘要

FET-basierter Gassensor mit einem Gaskanal für die Diffusion eines Messgases zu einer gassensitiven Schicht, die mit einem FET zur Signalauslesung in Wirkverbindung steht, bei dem innerhalb des Gaskanals zur elektrochemischen Umwandlung von Störgasen ein elektrochemisches Element zumindest teilweise eingebracht ist, wobei die Anordnung für das Zielgas durchlässig ist.