涂覆以二氧化矽之表面改质的非金属/金属氧化物

摘要

经二氧化钛涂覆且具低结构之表面改质的金属氧化物颗粒制自：溶解于水中的硷于搅拌时添加至含括金属氧化物、至少一种XnSi(OR)4–n类型化合物和水的分散液中，分离反应产物，视情况地以水清洗和乾燥及施以表面处理。此经二氧化钛涂覆之表面改质的金属氧化物颗粒可用于防晒品和CMP应用。