半导体装置、半导体基板之制造方法、及半导体装置之制造方法

摘要

本发明系提供一种半导体装置，该半导体装置系于绝缘基板上形成薄膜元件而成者，其中于上述半导体装置内混合存在有由非单晶Si薄膜所构成之薄膜电晶体及由单晶Si所构成之薄膜电晶体，由单晶Si所构成之薄膜电晶体的闸极电极膜系以含质量数比Si大的金属或其化合物的材料构成。