发明名称 |
用偏振光的光刻印刷 |
摘要 |
本发明提供用偏振光改进光刻印刷的系统和方法。在本发明的实施例中,用偏振光(径向或切向偏振的)照明相移掩模(PSM)并产生曝光光束。然后用曝光光束中的光,使负的光致抗蚀剂层曝光。可以用无隔的PSM。在本发明另外的实施例中,用径向偏振光照明掩模,并产生曝光光束。然后用曝光光束中的光,使正的光致抗蚀剂层曝光。掩模可以是衰减的PSM或二进制掩模。即使在低k应用中在各种孔距上印刷接触孔,也能获得非常高的像质量。 |
申请公布号 |
CN1698011A |
申请公布日期 |
2005.11.16 |
申请号 |
CN200480000139.0 |
申请日期 |
2004.02.23 |
申请人 |
ASML控股股份有限公司 |
发明人 |
纳毕拉·巴巴阿里;贾斯汀·克鲁瑟;哈里·希威尔 |
分类号 |
G03B27/54;G03B27/72;G03F9/00 |
主分类号 |
G03B27/54 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
蒋世迅 |
主权项 |
1.一种在晶片上印刷的方法,包括:(a)以偏振的照明光产生曝光光束,其中的照明光是按照预定的偏振模式偏振的;(b)照明掩模,在曝光光束中产生像;和(c)用曝光光束中的光,使晶片上的光致抗蚀剂层曝光。 |
地址 |
荷兰费尔德霍芬 |