发明名称 制造喷墨打印头的方法
摘要 一种制造喷墨打印头的技术方法,包括制备打印头基底(100),在基底上制作薄膜结构(101),在基底的要形成输送槽的表层区域中形成断开槽,接着通过研磨对基底上的断开槽加工而形成输送槽。在优选实施例中,可以在将隔离层加到薄膜结构上之前通过蚀刻加工方法来形成断开槽。
申请公布号 CN1227112C 申请公布日期 2005.11.16
申请号 CN01143532.1 申请日期 2001.12.05
申请人 惠普公司 发明人 T·S·霍斯泰特勒
分类号 B41J2/16 主分类号 B41J2/16
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 章社杲
主权项 1.一种制造喷墨打印头(100)的方法,包括:制备打印头基底(102);在所述基底上制造薄膜结构(101);在其中要形成输送槽(120)的所述基底的表层区域中形成断开槽结构;在形成所述断开槽结构之后、在研磨加工所述基底之前,将一隔离层加到所述薄膜结构上;接着通过断开槽结构对所述基底进行研磨加工以形成所述输送槽。
地址 美国加利福尼亚州