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发明名称 Apparatus for carrying out Burn-in procedures of semiconductor devices on wafer planes
摘要
申请公布号 EP1046921(B1) 申请公布日期 2005.11.16
申请号 EP20000108444 申请日期 2000.04.17
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 POECHMUELLER, PETER, DR.
分类号 G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/316;G11C29/00 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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