PERFILOMETRO OPTICO DE TECNOLOGIA DUAL (CONFOCAL E INTERFEROMETRICA) PARA LA INSPECCION Y MEDICION TRIDIMENSIONAL DE SUPERFICIES.

摘要

Comprende una fuente de luz (LED), unos divisores de haz (por lo menos uno es polarizante), y medios de generación de patrones de iluminación (microvisualizador LCOS) y objetivos microscópicos intercambiables que son objetivos convencionales con los que se pueden obtener imágenes confocales y objetivos interferométricos con los que se pueden obtener imágenes interferométricas. El microvisua1izador puede generar una secuencia de patrones de iluminación para obtener imágenes confocales o una apertura total de todos los píxeles de iluminación para obtener imágenes interferométricas. Presenta un diseño compacto que permite la medida rápida y sin contacto de la forma y la textura de todo tipo de superficies a escala micro y nanométrica, incluso en muestras estructuradas o estratificadas que contienen materiales diferentes.