| 摘要 |
圧力制御バルブは、互いに連通される上流側流路の一端の開口と下流側流路の一端の開口がともに形成されている圧力調整空間と、圧力調整空間内において前記両開口を開閉する方向の一方向に駆動される弁体を有し、弁体の位置によって上流側流路の一端の開口と下流側流路の一端の開口との間を連通させる隙間量を変化させるバルブ機構と、弁体を一方向に駆動するアクチュエータと、アクチュエータの動作を制御する制御部と、を備えている。アクチュエータは、ピエゾ素子を有し該ピエゾ素子への印加電圧の大きさによって一方向における弁体の位置を変化させるピエゾ機構と、ピエゾ機構よりも粗い制御分解能と広いダイナミックレンジを有し、ステッピングモータを備え該ステッピングモータが１ステップ回転するごとにピエゾ素子を前記一方向へ変位させるステッピング機構を有するものである。 |
