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发明名称 EXCIMER LASER WITH GREATER SPECTRAL BANDWIDTH AND BEAM STABILITY
摘要
申请公布号 EP0954890(B1) 申请公布日期 2005.11.16
申请号 EP19980907325 申请日期 1998.01.14
申请人 CYMER, INC. 发明人 FOMENKOV, IGOR, V.;SANDSTROM, RICHARD, L.
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01S3/08;H01S3/1055;H01S3/134;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/08 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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