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发明名称 VERFAHREN ZUM POLIEREN ODER PLANARISIEREN EINES SUBSTRATS
摘要
申请公布号 AT307859(T) 申请公布日期 2005.11.15
申请号 AT20000986423T 申请日期 2000.12.15
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人 DIRKSEN, JAMES, A.;BOLDRIDGE, DAVID, W.
分类号 B24B57/02;B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/321;(IPC1-7):C09K3/14;H01L21/306 主分类号 B24B57/02
代理机构 代理人
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