发明名称 |
DÜNNSCHICHTANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SOLCHEN DÜNNSCHICHTANORDNUNG |
摘要 |
|
申请公布号 |
AT500259(A2) |
申请公布日期 |
2005.11.15 |
申请号 |
AT20040000894 |
申请日期 |
2004.05.24 |
申请人 |
AT & S AUSTRIA TECHNOLOGIE & SYSTEMTECHNIK AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
|
分类号 |
H05K1/00;H05K1/16;H05K3/04;H05K3/07;H05K3/24;H05K3/38;H05K3/42;(IPC1-7):H05K3/00;H05K3/40;H01L27/15 |
主分类号 |
H05K1/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|