发明名称 DÜNNSCHICHTANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SOLCHEN DÜNNSCHICHTANORDNUNG
摘要
申请公布号 AT500259(A2) 申请公布日期 2005.11.15
申请号 AT20040000894 申请日期 2004.05.24
申请人 AT & S AUSTRIA TECHNOLOGIE & SYSTEMTECHNIK AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 H05K1/00;H05K1/16;H05K3/04;H05K3/07;H05K3/24;H05K3/38;H05K3/42;(IPC1-7):H05K3/00;H05K3/40;H01L27/15 主分类号 H05K1/00
代理机构 代理人
主权项
地址