| 主权项 |
1.一种影像数据档案管理系统,具备有:生产线上的各制造过程中,对被检体执行各种检查的检查装置系统;可取得上述检查装置对上述受检查体的影像数据之摄影部;对上述摄影部摄得受检体的影像数据作影像处理,并从该检查结果判断受检体良否的自动判定检查部;将上述经检查部判断为良好的受检体影像数据以不可逆压缩处理,对判定为不良的受检体的影像数据作可逆压缩处理的压缩部;上述摄影部对被检体所摄得的影像数据先不必直接保存,在进行影像保存之前先以检查部作良否之判断,以该良否之判断后,再以压缩部将经判定为良好的被检体影像数据作不可逆的压缩处理,而经判定为不良的被检体影像数据则作可逆的影像处理,只有将受检体经上述判断装置判断良劣与否的影像数据以压缩处理保存于影像伺服器为其特征者。2.如申请专利范围第1项所述之检查装置系统,其中上述影像伺服器具有资料库部及硬碟部,将上述受检体的既有资料及检查结果保存于资料库部,以该等资料为基础将前述影像数据依指定的规则将之移动至硬碟部的文件夹构造,同时依该等文件夹构造之分类,将该等影像数据制作成缩小影像。3.如申请专利范围第1项所述之检查装置系统,其中检查装置系配置于半导体制造生产线的无尘室,其具备有摄影部、判定装置及压缩装置,而在将检查装置配置于半导体制造生产线外之前,将通信导线连接上述影像伺服器为其特征者。4.如申请专利范围第1项所述之检查装置系统,其中由巨集检查装置所成,上述判定装置系将受检体的主影像及摄影部由受检体的检查影像之偏差影像数据中,检查出的缺陷来判定其良否,而前述压缩装置系依对判定装置对前述偏差影像数据之判定结果作压缩处理为其特征者。5.如申请专利范围第1项所述之检查装置系统,其中检查装置系由主检查装置所组成,上述判定装置系将受检体的主影像之辉度値所超出标准偏差値之主影像及上述受检体的检查影像之偏差影像数据中检出的缺陷来判定其为良否,而前述压缩装置系依判定装置对前述超出标准偏差値的影像数据之判定结果作压缩处理为其特征者。6.如申请专利范围第1项所述之检查装置系统,其中检查装置系由可放大受检体缺陷的微观检查装置所成,而上述判定装置系依放大受检体缺陷的微观装置来判定良否,上述压缩装置对经判断良好的微观影像作不可逆的压缩,被判断为不良的微观影像则作可逆之压缩为其特征者。7.如申请专利范围第1项所述之检查装置系统,其中伺服器具有资料库(Data Base)部及硬碟部(Hard Disk),将受检体的既有资料及检查结果资料存入上述资料库,根据该等资料将影像数据依指定规则移到备份部的文件夹结构内,同时依该文件夹构造的分类将上述影像数据作成缩小影像为其特征者。8.如申请专利范围第6项所述之检查装置系统,其中上述影像伺服器更具有备份部(Backup),将硬碟部中保存的影像数据备份于备份部时,可登录该备份影像之识别码为其特者。9.如申请专利范围第6项所述之检查装置系统,其中上述影像伺服器系于表示部的缩小影像以极小表示,将与之相关的既有资料、检查结果资料、影像资料、文件夹资料至少一项合并表示为其特征者。10.如申请专利范围第8项所述之检查装置系统,其中影像伺服器监视硬碟的文件夹,将送往文件夹的上述影像数据的检查结果作履历管理为其特征者。11.如申请专利范围第1项所述之检查装置系统,其中影像伺服器系将由复数个检查装置送来的各种影像数据同样与相关的再检体资料保存之,并选择性的表示该等相关的各种影像数据为其特征者。12.如申请专利范围第1项所述之检查装置系统,其中影像伺服器系将由复数个检查装置送来的同一座标相关的复数影像数据附加相连识别码保存,更可以表示部所表示者选择连接的影像数据为其特征者。13.如申请专利范围第1项所述之检查装置系统,其中检查装置系由宏观及微观检查装置所成;上述影像伺服器用宏观检查装置将由缺陷检查处理抽出的各种缺陷贴上既有编号(标签),对应于编号(标签)再以微观检查装置的影像部将摄得的微观影像相连之,再以指定标签连接以表示部表示微观影像为其特征者。14.如申请专利范围第12项所述之检查装置系统,其中微观影像更可与其他微观检查装置之微观影像相连(link)为其特征者。15.如申请专利范围第1项所述之检查装置系统,其中影像伺服器系在受检体的全体影像上顺次以多数的制造工程,将前述缺陷影像重叠表示之表示部为其特征者。16.如申请专利范围第1项所述之检查装置系统,其中影像伺服器系可记录相应于受检体的影像数据再处理的次数,如再处理的次数超过设定次数时,即登录受检体废弃的资料为其特征者。17.一种包含影像数据档案管理方法,包括:在生产线的各制造过程中,对受检体执行各种检查的检查装置影像数据档案之管理方法;用上述检查装置所配备的摄影部对上述受检体摄影取得影像数据的第一步骤;及用摄影部对被检体摄得的影像数据为基础,作影像处理,再从缺陷检查处理结果判断受检体良否的第二步骤;及将上述经判断良好的受检体影像数据以不可逆压缩处理,对判定为不良的受检体的影像数据则作可逆压缩处理的第三步骤;及只有将上述经压缩处理后的受检体影像数据以通信电路与影像伺服器连接的保存的第四步骤;包含以上各步骤的影像数据档案管理方法。18.一种检查装置系统,在生产线上的各制造过程中,对被检体执行各种检查的检查装置系统,其具备有:由复数个不同可将以摄影部由受检体取得经压部压缩的检查结果影像的检查装置;将上述以不同的检查装置取得的各个影像数据与被检体影像上的缺陷的位置资讯作相关连保存的影像伺服器;由以上元件所成为其特征者。19.如申请专利范围第18项所述之检查装置系统,其中上述影像伺服器具有表示其所保存的影像数据的操作终端;前述操作终端系选择表示由上述各相关检查部所取得的各种影像数据为其特征者。20.如申请专利范围第18项所述之检查装置系统,其中操作终端系用来表示可表示相关检查资讯的影像数据为其特征者。图式简单说明:图1为本发明第1实施形态所述影像数据档管理系统概略构成图。图2为本发明第1实施形态所述检查装置检查处理程序流程图。图3A为本发明第1实施形态所述结果储存处理程序详细流程图。图3B为本发明第1实施形态所述影像数据压缩处理程序流程图。图4为本发明第1实施形态所述影像数据压缩储存说明图。图5为本发明第1实施形态所述影像数据压缩储存说明图。图6为本发明第1实施形态所述伺服器处理程序流程图。图7为本发明第1实施形态所述登录到资料库内影像数据相关登录显示图。图8A~图8E为本发明第1实施形态所述登录到资料库内各登录显示图。图9为本发明第1实施形态所述检查影像一览显示例显示图。图10为本发明第2实施形态所述影像数据档管理系统概略构成图。图11为本发明第2实施形态所述检查结果档一例显示图。图12为本发明第2实施形态所述登录到资料库内之影像数据相关登录显示图。图13为本发明第2实施形态所述与图12所示登录相连之影像数据相关登录显示图。图14为本发明第2实施形态所述检索终端显示部第1显示例之显示图。图15为本发明第2实施形态所述检索终端显示部第2显示例之显示图。图16为本发明第2实施形态所述检索终端显示部第3显示例之显示图。图17为本发明第2实施形态所述检索终端显示部第4显示例之显示图。图18为本发明第2实施形态所述检索终端显示部第5显示例之显示图。图19为本发明第2实施形态所述晶圆影像显示变化例显示图。 |
