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发明名称
Vorrichtung und Verfahren zur Regelung des spezifischen Widerstandes von ultra reinem Wasser
摘要
申请公布号
DE60107184(T2)
申请公布日期
2005.11.10
申请号
DE2001607184T
申请日期
2001.09.26
申请人
DAINIPPON INK AND CHEMICALS, INC.
发明人
KAMBE, TOSHIO;OI, KAZUMI;SAKAI, KAZUNARI;KAWASE, KOJI
分类号
C02F1/68;B01D61/00;B01F3/04;B01F5/04;C02F1/44;(IPC1-7):B01F3/04;B01F1/00;H01L21/02;H01L21/304;B01D61/14;B01D61/22
主分类号
C02F1/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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