使用非平衡等离子体的气体处理装置

摘要

本实用新型提供一种通过布置多个表面放电电极，每个电极在厚度方向具有多个从中穿过的通孔，在电极之间布置多个光催化剂构件而构成的气体处理装置。其中在由表面放电电极产生的非平衡等离子体区域中布置包括光催化剂、固态物质和催化剂的多个光催化剂构件，将例如废气的作业气体和包括有害化学物质的有害气体引入该区域，然后进行分解。该表面放电电极包括一接地电极、一包围接地电极的绝缘体和多个经由绝缘体相对接地电极布置的表面电极，通过其起电作用产生非平衡等离子体。

主权项

1.用于气体处理的表面放电电极，其特征在于：一接地电极；一绝缘体；经由所述绝缘体相对于所述接地电极布置的多个表面电极；以及每一个均包括光催化剂、固态物质和催化剂的多个光催化剂构件，所述多个光催化剂构件布置在一非平衡等离子体区域中。