管理衬底处理装置的装置信息的衬底处理系统

摘要

一种衬底处理系统，具有衬底处理转置和信息存储服务器和支持计算机，分别连接于网络。衬底处理装置中产生故障时，警报处理部提取必要的关联日志(log)文件并存储在信息存储服务器的固定盘上。另外，通过故障信息生成部生成故障信息，最终作为故障信息数据库存储在信息存储服务器的固定盘上。这些关联日志文件和故障信息数据库可通过装置信息公开部从远处的支持计算机阅览。由此，可即刻阅览关联日志文件和故障信息数据库。即提供在衬底处理装置产生故障时，从远处即时阅览运转信息的衬底处理系统。

主权项

1.一种衬底处理装置，可经网络通信，其特征在于，具有对上述网络送出该衬底处理装置的装置信息的装置信息送出部件。