压电致动器、包含它的液体喷头、压电元件及其制造方法

摘要

一种压电致动器、包含它的液体喷头、压电元件及其制造方法。基片上具有带开口的腔，开口由沿第一方向延伸的第一边缘和沿垂直于第一方向的第二方向延伸的第二边缘确定，第二边缘的第二尺寸小于第一边缘的第一尺寸。在基片上配置振动板来密封开口。在振动板上形成保持在预定电位的第一公共电极。在第一公共电极上层叠第一压电层，与腔相对。第一压电层沿第一方向延伸，使其两个端部超过开口的第二边缘。在第一压电层上层叠驱动电极，从外部向其提供驱动信号。在驱动电极上层叠第二压电层，与腔相对。第二压电层沿第一方向延伸，使其两个端部在第一方向上超过开口的第二边缘。在第二压电层上层叠保持在预定电位的第二公共电极。

主权项

1.一种压电致动器，其中包括：一个基片，形成有具有一个开口的腔，开口由在第一方向上延伸的第一边缘和在垂直于第一方向的第二方向上延伸的第二边缘确定，第一边缘具有第一尺寸，第二边缘具有小于第一尺寸的第二尺寸；一个振动板，配备在基片上面以密封开口；第一公共电极，形成在振动板上并要被保持在预定的电位上；第一压电层，层叠在第一公共电极上面，与腔相对，第一压电层在第一方向上延伸，使其两个端部在第一方向上超过开口的第二边缘；一个驱动电极，层叠在第一压电层上面，从外部给它提供驱动信号；第二压电层，层叠在驱动电极上面，与腔相对，第二压电层在第一方向上延伸，使其两个端部在第一方向上超过开口的第二边缘；以及第二公共电极，层叠在第二压电层上并要被保持在预定的电位上。