| 发明名称 |
COOLING APPARATUS OF SCREW TYPE DRY VACCUM PUMP AND METHOD OF COOLING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050105365(A) |
申请公布日期 |
2005.11.04 |
| 申请号 |
KR20040030472 |
申请日期 |
2004.04.30 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
CHOI, JONG HO |
| 分类号 |
H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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