发明名称 COMPOSITION AND METHOD FOR COPPER CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION
摘要
申请公布号 EP1590505(A2) 申请公布日期 2005.11.02
申请号 EP20030812088 申请日期 2003.11.19
申请人 ARKEMA INC. 发明人 NOSOWITZ, MARTIN;MARTYAK, NICHOLAS, M.;CARROLL, GLENN;JANNEY, PATRICK, K.
分类号 C09G1/02;H01L21/321;(IPC1-7):C25C1/18 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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