| 摘要 |
本发明之课题提供一种因电子束照射，而提高记录位置精确度的资讯记录媒体用之母片照射装置。本发明之解决手段若依具备对具有因电子束照射而产生极性变化之电子束感应阻剂薄膜之母片21，照射每单位时间一定量之电子束19之电子束照射手段、和保持母片21并加以旋转之驱动手段、和将电子束照射手段与母片21改变其水平方向相对位置之变动手段、和以电子束照射手段照射电子束19时，根据相对位置来控制母片21旋转数的母片旋转控制手段的，资讯记录媒体用之母片照射装置100，则可作成降低母片21整体之记录轨之凹轨幅变动及杂讯位准的，资讯记录媒体用母片。 |
