监控再生光阻之方法、光阻再生制程及系统

摘要

本发明系提供一种监控再生光阻之方法、一种光阻再生制程及一光阻再生系统。在本发明中，废光阻系藉由减压浓缩或添加光阻稀释剂来调整其固含量及黏度，并使该废光阻通过过滤装置去除粒状物，以获得可供利用之再生光阻；其中前述再生光阻之最终固含量及黏度系藉由本发明之定量方程式预先求得。