发明名称 即时错误侦测分类与修正系统及电脑可执行方法
摘要 本发明实施例揭露一种即时错误侦测分类与修正之电脑可执行方法,应用于一个半导体产品制造场所中。在一个范例中,其方法包括下列步骤:从一部制造设备汇入资料到一部分析机台;汇入代表多部其他制造设备之资料到分析机台;分析汇入资料以决定制造设备之作业是否发生错误;如果存在错误,则将错误归类,并依据分类结果取得相应于错误之解决方案;更新用来控制制造设备之组态资料,将解决方案应用至组态资料中;以及使用更新后之组态资料修正制造设备之作业。
申请公布号 TW200535605 申请公布日期 2005.11.01
申请号 TW094101005 申请日期 2005.01.13
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 沈学琪
分类号 G06F11/28;G05B15/02 主分类号 G06F11/28
代理机构 代理人 洪澄文;颜锦顺
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号