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发明名称 Defect modification method of a gray-tone portion in a gray-tone mask
摘要
申请公布号 KR100524109(B1) 申请公布日期 2005.10.26
申请号 KR20010061012 申请日期 2001.09.29
申请人 发明人
分类号 G03F1/72;H01L21/027;H01L21/266;(IPC1-7):G03F1/08 主分类号 G03F1/72
代理机构 代理人
主权项
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