发明名称 Peripheral exposing apparatus for film circuit substrate
摘要
申请公布号 KR100523890(B1) 申请公布日期 2005.10.26
申请号 KR20010070989 申请日期 2001.11.15
申请人 发明人
分类号 G03F7/20;H01L21/60;H05K1/00;H05K3/00;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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