主权项 |
1.一种有机溶剂型印刷油墨光阻组成物,包含一酚树脂作为主要树脂成分,该酚树脂由重量平均分子量300到300000之合成酚醛树脂与重量平均分子量1000到100000之聚乙烯酚树脂的其中之一或二者所组成,更包含一增稠剂,该增稠剂由具有3nm至10m之颗粒尺寸的无机微粒与蜡的其中之一或二者所组成,其中该组成物中之增稠剂含量在重量上是从10至500份,基于树脂固体含量重量上是100份,且以一旋转式黏度计(6rpm,量测温度25℃)量测之该组成物的黏度是从1至300Pas。2.如申请专利范围第1项之有机溶剂型印刷油墨光阻组成物,是一网版印刷油墨光阻组成物。3.一种光阻膜的形成方法,包含实施一网版印刷之一步骤,利用包含一酚树脂作为主要树脂成分且更包含一增稠剂之有机溶剂型印刷油墨光阻组成物,该酚树脂由重量平均分子量300到300000之合成酚醛树脂与重量平均分子量1000到100000之聚乙烯酚树脂的其中之一或二者所组成,且该增稠剂由具有3nm至10m之颗粒尺寸的无机微粒与蜡的其中之一或二者所组成,实施在具有一金属层之基板表面上,而形成具有一期望图案之一光阻膜,其中该组成物中之增稠剂含量在重量上是从10至500份,基于树脂固体含量重量上是100份,且以一旋转式黏度计(6rpm,量测温度25℃)量测之该组成物的黏度是从1至300 Pas。4.一种具有一金属层图案之基板制造方法,包含:(1)实施一网版印刷之步骤,利用包含酚树脂作为主要树脂成分且更包含一增稠剂之有机溶剂型印刷油墨光阻组成物,该酚树脂由重量平均分子量300到300000之合成酚醛树脂与重量平均分子量1000到100000之 聚乙烯酚树脂的其中之一或二者所组成,且该增稠剂由具有3nm至10m之颗粒尺寸的无机微粒与蜡的其中之一或二者所组成,实施在具有一金属层之基板表面上,而形成具有一期望图案之一光阻膜,(2)以一蚀刻液去除金属层之步骤,去除以一显影未形成该光阻之部分金属层,以及(3)去除步骤(2)后之光阻膜之步骤,其中该组成物中之增稠剂含量在重量上是从10至500份,基于树脂固体含量重量上是100份,且以一旋转式黏度计(6rpm,量测温度25℃)量测之该组成物的黏度是从1至300Pas。 |