| 发明名称 |
HERSTELLUNG EINER MIKROWELLENVORRICHTUNG DURCH AUFTRAGEN EINER BESCHICHTUNG AUS YTTRIUM-EISEN-GRANAT AUF DIE OBERFLÄCHE DER VORRICHTUNG ZUR UNTERDRÜCKUNG VON SEKUNDÄR-ELEKTRONEN-EMISSION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60022681(D1) |
申请公布日期 |
2005.10.20 |
| 申请号 |
DE20006022681 |
申请日期 |
2000.11.29 |
| 申请人 |
COM DEV LTD., CAMBRIDGE |
发明人 |
ZYBURA, ANDRZEJ;FRANCIS, T.;D'SOUZA, A.;KOBE, A. |
| 分类号 |
C23C14/08;C23C14/34;C23C30/00;H01J23/40;(IPC1-7):H01J3/00;H01J9/24;H01J23/12 |
主分类号 |
C23C14/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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