| 发明名称 | 接近式弯月面集流管 | ||
| 摘要 | 提供了一种用于处理衬底的装置，该装置包括在衬底表面上产生流体弯月面的第一集流管模块。该装置还包括第二集流管模块以与第一集流管模块连接，并把第一集流管模块移动到与衬底表面紧密接近以产生流体弯月面。 | ||
| 申请公布号 | CN1684231A | 申请公布日期 | 2005.10.19 |
| 申请号 | CN200510062624.7 | 申请日期 | 2005.04.01 |
| 申请人 | 兰姆研究有限公司 | 发明人 | C·沃兹;M·G·R·史密斯;J·帕克斯;J·P·加西亚;J·M·德拉里奥斯 |
| 分类号 | H01L21/302;H01L21/00 | 主分类号 | H01L21/302 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 刘红;梁永 |
| 主权项 | 1.一种用于处理衬底的装置，包括：配置成在衬底表面产生流体弯月面的第一集流管模块；以及配置成与第一集流管模块相连接、并把第一集流管模块移动到接近衬底表面以产生流体弯月面的第二集流管模块。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||