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经营范围
发明名称
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR100522622(B1)
申请公布日期
2005.10.19
申请号
KR20030055680
申请日期
2003.08.12
申请人
发明人
分类号
H01L21/60;H01L23/12;H01L21/28;H01L21/326;H01L21/479;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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