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发明名称 The Source Housing join Structure for Ion Implanter
摘要
申请公布号 KR100523167(B1) 申请公布日期 2005.10.19
申请号 KR20030098089 申请日期 2003.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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