| 摘要 |
本发明揭示一种用于一微结构之制造系统，其包括一具有预定之定位精确度及一大冲程长度之粗糙运动平台、一安置于该粗糙运动平台上且具有比该粗糙运动平台更高之定位精确度及一小冲程长度的精密运动平台，及共同作为一平台装置而安置于一真空容器内之类似物、用于量测一至安置于该精密运动平台上之镜面的距离之雷射长度量测机器、一用于藉由该等雷射长度量测机器所量测之结果来驱动该精密运动平台之平台控制装置，及共同作为一平台控制单元之类似物，及一挤压杆44，其用于固持一与藉由该平台装置及该等压力接触及分离部件固持之一受压力接触部件相对地安置之压力接触目标部件、一用于向该挤压杆44施加一压力接触力之压力接触驱动机构，及共同作为一压力接触机构单元之类似物。 |
